激光直写加工技术受到光学衍射极限的限制，难于实现纳米尺度的结构加工。利用非线性光学效应——多光子效应与阈值效应的多光子超衍射纳米加工技术成功地突破光学衍射极限，实现了纳米尺度激光直写加工。本报告将介绍多光子超衍射纳米加工原理、发展及其在功能性微纳器件制备中的应用。
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